由于纳米氧化铝具有高硬度、高稳定性等优点，在精密加工制造等工业应用中具有突出的表现，是目前广使用的一种抛光磨料，随着现代技术的发展，在树脂抛光磨料生产中，特别是高精度研磨、镜面抛光加工，细粒度磨具应用领域也越来越广。
用纳米氧化铝作抛光粉主要有以下几点：
颗粒小、均匀、均匀，在允许的范围内；
纯度高达99.99%，无机械杂质；
稀土抛光粉
具有较好的分散和吸附能力，保证加工过程的均匀、高效；
粉末颗粒具有一定的晶格形态，在破碎时形成尖锐的尖角，以提高抛光效率；
由于抛光粉需要与水混合，具有适当的硬度、密度、浸润性及悬浮性。
具有良好的磨削比，高硬度低韧性物质适合作抛磨材料，氧化铝属于刚玉，纳米氧化锆、纳米金刚石微粉都是优良的抛光材料，纳米金刚石一般做镜面抛光、超高速轴承、高级汽车内燃机抛光用。
还要注意的是，在磨光抛光时，尽量是喷在转盘中心位置，如氧化铝抛光液、金刚石抛光液、稀土抛光粉或其它抛光剂，尽量喷到转盘的中心位置，以保证磨光的损失尽可能小，并有效地磨光样品的表面。